私たちはzygo継続としてリーダーシップを維持する役割で表面形状計量使用してレーザー干渉。 これは、メイン測定半径の曲率、表面フリンジと伝送wavefront歪み。 一方、それはプロセス検査の精度と再現性を向上させる。 主にフラット表面、、球、円柱のように。
保証高表面精度、入荷しました λ/20
メイン測定焦点距離とセンタリング。 自動測定、高効率の測定; 高精度、強力な機能、ワイド範囲の測定。
有効焦点距離測定
センターセンタリング測定: プリズム角マスター、任意の2角
公差 <1〜2"
測定範囲 (mm) | ± 5〜 ± 450 | -450〜 + 450 |
測定精度 | 0.03% 〜0.3% | 0.2μm |
寸法を測定することができ、角度や位置のさまざまなワーク効率的である。 を幾何学的パラメータのカッター、測定ツールと測定ツール。
プリズム角マスター、任意の2角公差 <1〜2"
旅行 (ミリメートル) × xy xz | 250x150x200 |
測定分解能 | 0.5μm |
測定精度 | X、y精度: (3 l/200) μ m |
再現性 | 2μm |
光学倍率 | 0.7X-4.5X |
画像倍率 | 28X-180X |
1。古典的なczernyターナー光学構造、シンプルな、高精度スペクトル解像度
2。をデザインのダブル格子とダブルレシーバー機器が保証ワーキングバンドのフルレンジをカバーすることができ紫外可視と近赤外領域 (uv-vis-nir)。
テンソル27は新世代の研究-グレード赤外線分光器ブルカーによって設計された。 リアルタイムのオンライン監視および診断システムは、信頼性の保証。
解像度 | 0.5センチメートル-1 |
Wavenumber精度 | ベター0.01センチメートル-1@ 2000センチメートル-1 |
吸光度精度 | ベター0.01% |
スペクトル範囲 | 1.33-20um |