マイクロレンズアレイは、光学孔径がミクロン級、起伏深さがナノ級のレンズからなる。フォーカスとイメージングの基本的な機能を持っています。そのユニットはサイズが小さく、集積度が高く、従来の光学素子ではできなかった機能を完成でき、多くの新しい光学系を構成することができる。主にShack-Hartmann波面センシング、赤外焦点平面検出またはCCDアレイ集光、レーザーアレイ走査、レーザー表示、光ファイバ結合などのシステムに用いられる。
マイクロレンズアレイは、規則的なパターンで配列された複数の同じ形状のマイクロレンズのアレイである。レンズレットの形状は、円形、正方形、六角形、正方形、またはその他の形状であってもよく、その多くは正方形メッシュである。正方形、六角形、または他の形状に配列することもできます。マイクロレンズは小型化、集積化、設計自由の特徴がある。それはレーザー均一化、ビーム分割とビーム集束、ハートマン波面センサ(HSWFS)、コリメート、波面センシングなどを実現することができる。高感度イメージング、光ファイバ結合通信、レーザー美容、レーザー加工、検出に一般的に使用されている。
1.基板:溶融シリカ、石英、ZnSe、シリコン、BK 7ガラスなど。
2.構造:球面レンズ、非球面レンズ、シリンドリカルレンズなど。
3.正方形アレイ正方形レンズ、正方形アレイ円形レンズ、六角形配列、ランダム配列などを配列する。
4.マイクロレンズ周期(サブユニット直径)、焦点距離、エッチング深さ(高さ)、曲率半径
5.表面形状:回折素子には、一般に連続表面タイプと不連続表面形状(段差タイプ)の2種類がある。連続表面型は色収差を解消でき、広帯域システムイメージングやヘリカル位相板などの応用に適している。